（XRF）儀器由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X 射線（一次射線），激勵被測樣品。樣品中的每一種元素會放射出的二次X射線，并且不同的元素所放出的二次射線具有特定的能量特性。探測系統測量這些放射出來的二次射線的能量及數量。然后，儀器軟件將控測系統所收集的信息轉換成樣品中的各種元素的種類及含量。利用X射線熒光原理，理論上可以測量元素周期表中的每一種元素。在實際應用中，有效的元素測量范圍為11號元素（鈉Na）到92號元素（鈾U）。


 

X射線熒光光譜儀是*的RoHS篩選檢測儀器，由于其檢測速度快、分辨率、實施無損檢測，所以被廣泛采用。X線熒光光譜儀品牌繁多，以至于分不出誰好誰差了。在《電子信息產品有毒有害物質的檢測方法》IEC62321標準文本里提到：“用能量散射X射線熒光光譜法（ED－XRF）或波長散射X射線熒光光譜法（WD－XRF）對試樣中目標物進行測試，可以是直接測量樣品（不破壞樣品），也可以是破壞樣品使其達到”均勻材料”（機械破壞試樣）后測試。”能真正準確無誤地將試樣篩選出合格、不合格、不確定三種類型，而且能大限度地縮小“不確定”部分就是好儀器。在保證既定準確度的情況下盡可能快速檢測。尤其是企業選購，光譜儀是做日常RoHS監督檢測用，非常看重這一點。所以，能夠準確無誤地將試樣篩選出合格、不合格、不確定三種類型，又能大限度地縮小“不確定”部分，而且全部過程是在極短的時間內完成的X射線熒光光譜儀是滿足使用要求的光譜儀。


 

性能無疑是評估光譜儀非常重要的指針性能優異的光譜儀做篩選檢測能準確無誤地排查合格和不合格，并將不確定的灰色部分壓縮到小；
有的光譜儀鉛砷不分、鎘的特征譜線與X光管銠電極的特征譜線重迭等。經常誤判；
有的光譜儀檢測鎘的靈敏度不夠，不能準確判定鎘；
大部分光譜儀的檢測穩定性受到X光管老化、環境溫度、電源波動等影響，使數值不準。
由于性能不足，可能發生錯判、誤判、無法判定等事件頻發，不確定的灰色部分比例大增。其后果必然是成本顯著提、風險增加。

關鍵性能參數

目前X線熒光光譜儀基本上采用銠靶X光管，有鎢靶X光管的。
A．銠（Rh）靶：銠的特征譜線與鎘的特征譜線重迭；測試需要濾波器。
B．鎢（W）靶：鎢的特征譜線與鉛，的特征光譜重迭，但發射強度。